Главная Оборудование Комплекс измерительный электронно-оптический с модулями контроля электрофизических характеристик наноматериалов и наноструктур JSM6610LV (Jeol)
Комплекс измерительный электронно-оптический с модулями контроля электрофизических характеристик наноматериалов и наноструктур JSM6610LV (Jeol)

Сканирующий электронный микроскоп с модулем энерго-дисперсионного микроанализа. Позволяет работать с диэлектрическими материалами за счет низковакуумной области, формируемой непосредственно над поверхностью образца.

Технические характеристики

ResolutionHV mode 3.0 nm（30 kV）、8 nm（3 kV）、15 nm（1 kV）
LV mode 4.0 nm（30 kV）
Magnification × 5 to × 300,000 (on 128 mm × 96 mm image siza)
Preset magniἀcations 5 step, user selectable
Image mode Secondary electron image, REF image, Composition, Topography, Shadowed
Accelerating voltage 0.3 kV to 30 kV
Filament Factory pre-centered filament
Electron gun Fully automated, manual override
Condenser lens Zoom condenser lens
Objective lens Super conical objective lens
Objective lens apertures 3 stages, XY fine adjustable
Electrical image shift ± 50 μm (WD = 10 mm)
Auto functions Focus, brightness, contrast, stigmator
Specimen stage Eucentric large-specimen stage
axes motorized
X: 125 mm, Y: 100 mm,  Z: 5 mm to 80 mm,
Tilt:  −10° to 90°, Rotation: 360°
Specimen exchange Draw out the stage
Maximum specimen 200 mm diameter
Pumping system Fully automated, DP: 1, RP: 1 or 2
LV Pressure 10 to 270 Pa

Производитель

JEOL
Календарь работы оборудования