Главная Услуги
Услуги

Комплекс оборудования, размещенный в электрофизической лабораториях каф. МНЭЛ (а.044, 046, 055) позволяет измерять следующие электрофизические параметры полупроводников и изделий твердотельной электроники:

  • глубина залегания p-n- перехода;

  • распределение концентрации легирующих примесей в слоях полупроводника;

  • определение и идентификация "глубоких" энергетических уровней и состояний;

  • определение спектральной зависимости коэффициента поглощения света;

  • определение распределения поля в ОПЗ высокоомных полупроводников;

  • определение времени жизни, времени пролета и подвижности носителей в полупроводниках;

  • измерение толщины пленок (до 1мкм - с помощью АСМ "Смена-В", свыше - оптическим интерференционным микроскопом);

  • измерения ЭДС НЧ шума, шума фазовых переходов;

  • измерения ВАХ, ВФХ, термо-ЭДС, Холл-фактора, квазистатических ВАХ и ВФХ;

  • атомная силовая и оптическая сканирующая микроскопия.

Пределы измерений основных электрофизических параметров:

  • измерение малых токов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . до 10-15 А;

  • диапазон измеряемых емкостей . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10...10-7 Ф;

  • частотный диапазон . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3...107 Гц;

  • разрешение по координате (электроизмерения). . . . . . . . . . . . . . 10-5 см;

  • разрешение по координате (АСМ/СТМ). . . . . . . . . . . . . . 1нм-1нм-10Å;

  • разрешение по энергии .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .0,1...0,2 эВ;

  • разрешение по плотности состояний . . . . . . . . . . . . . . . . . .1014 эВ-1 см-3;

  • коэффициент поглощения . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101...105 см-1;

  • максимальная погрешность вычисления параметров . . . . . . . . . . .10%;

  • диапазон температур. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .77 ...500 К;

  • минимальная регистрируемая концентрация сопутствующих

  • примесей (относительно легирующей примеси) . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5.

Прейскурант на проведение измерений на АСМ/СТМ Регионального Центра зондовой микроскопии коллективного пользования Рязанского государственного радиотехнического университета