|
Комплекс оборудования, размещенный в электрофизической лабораториях каф. МНЭЛ (а.044, 046, 055) позволяет измерять следующие электрофизические параметры полупроводников и изделий твердотельной электроники:
-
глубина залегания p-n- перехода;
-
распределение концентрации легирующих примесей в слоях полупроводника;
-
определение и идентификация "глубоких" энергетических уровней и состояний;
-
определение спектральной зависимости коэффициента поглощения света;
-
определение распределения поля в ОПЗ высокоомных полупроводников;
-
определение времени жизни, времени пролета и подвижности носителей в полупроводниках;
-
измерение толщины пленок (до 1мкм - с помощью АСМ "Смена-В", свыше - оптическим интерференционным микроскопом);
-
измерения ЭДС НЧ шума, шума фазовых переходов;
-
измерения ВАХ, ВФХ, термо-ЭДС, Холл-фактора, квазистатических ВАХ и ВФХ;
-
атомная силовая и оптическая сканирующая микроскопия.
Пределы измерений основных электрофизических параметров:
-
измерение малых токов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . до 10-15 А;
-
диапазон измеряемых емкостей . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10...10-7 Ф;
-
частотный диапазон . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3...107 Гц;
-
разрешение по координате (электроизмерения). . . . . . . . . . . . . . 10-5 см;
-
разрешение по координате (АСМ/СТМ). . . . . . . . . . . . . . 1нм-1нм-10Å;
-
разрешение по энергии .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .0,1...0,2 эВ;
-
разрешение по плотности состояний . . . . . . . . . . . . . . . . . .1014 эВ-1 см-3;
-
коэффициент поглощения . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101...105 см-1;
-
максимальная погрешность вычисления параметров . . . . . . . . . . .10%;
-
диапазон температур. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .77 ...500 К;
-
минимальная регистрируемая концентрация сопутствующих
-
примесей (относительно легирующей примеси) . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5.
Перечень оказываемых типовых услуг с указанием единицы измерения услуги и/или выполняемых работ и порядок определения их стоимости:
- на РФА;
- на РЭМ;
- на АСМ.
|
Услуги